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Contamination Control and improvement
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ScrubPAD®
ScrubPAD®
Specialty Cleaning Products
ScrubPAD®
반도체 Vacuum Chamber Cleaning에 특화된 Diamond 연마 패드
표면 손상을 최소화하면서 오염물을 빠르게 제거하여 PM효율이 향상되고 Particle Level 감소에 효과적
Aluminum, SUS, Ceramic, Quartz, Anodized Surface 등 다양한 표면에 적용 가능
Process 관련 오염 물질에 따라 다양한 PAD 거칠기(Grit) 선택이 가능
ScrubDISK®
ScrubDISK®
Specialty Cleaning Products
ScrubDISK®
원형타입의 Diamond PAD로 Handle Tool과 함께 사용 시 세정표면 Uniformity에 효과적
Aluminum, SUS, Ceramic, Quartz, Anodized Surface 등 다양한 표면에 적용 가능
Process 관련 오염물질에 따라 다양한 PAD 거칠기(Grit) 선택이 가능
ScrubBELT®
ScrubBELT®
Specialty Cleaning Products
ScrubBELT®
국소 부위 (틈새, Edge) 세정에 적합한 Diamond Belt 제품으로 Tool Pen에 장착하여 사용
협소 부위 오염물만 집중 제거하여 주변부의 과도한 마모를 방지
PneuSCRUB™
PneuSCRUB™
Specialty Cleaning Products
PneuSCRUB™
삼각형 모양의 Diamond PAD를 진동 운동하는 Dynamic Sander에 부착하여 N2에 체결하여 사용
기존 수작업 보다 작업 강도를 획기적으로 낮출 수 있으며 손쉽고 신속한 Cleaning을 가능하게 함
적용: 수작업이 힘든 넓은 장비 표면, 경화된 Heavy Deposition, 곡면부 세정 등
MiraWIPE®Wiper
MiraWIPE®Wiper
Specialty Cleaning Products
MiraWIPE® Wiper
Mira WIPE®
고유한 Particle Pick-up & Trap 특성으로 이물질과 오염 제거 능력이 매우 우수한 Nano 공정용 Cleanroom wiper
Wide Sealed Edge로 마모 및 찢어짐에 대한 저항성이 매우 높아 사용 시 올 풀림과 보푸라기(Fiber) 생성을 최소화
흡수성이 뛰어나 Wiping 표면부에 물 얼룩을 남기지 않음
MiraSAT™
Mira WIPE®의 특장점에 100% 초순수가 Pre-saturated된 WET버전 Wiper
휘발성 유기 화합물(VOC) 이나 가연성 용제를 사용하지 않고도 탁월한 세정 성능을 제공하는 혁신적인 Cleanroom wiper
Foam Type Products
Foam Type Products
Specialty Cleaning Products
Foam type products
UltraSOLV® Wipers & Sponge
Open-cell 구조의 친수성 Polyurethane Foam 제품으로 사용 목적에 따라 Wiper type 과 Sponge type 중 선택
독특한 내마모성과 표면 밀착 특성으로 사용 시 쉽게 찢기지 않아 Fiber-Free Cleaning 가능함
뛰어난 흡수성과 Rinse 특성은 오염 표면 유체(Fluid) 성분도 탁월하게 제거함
Critical한 장비 표면 및 Parts 세정에 적합
Sahara® Sponge & ScrubCLEAN® Sponge
Scratch에 민감한 설비 표면 Process residues 와 Stains을 효율적으로 제거
연마제가 포함되어 있지 않아 Stainless steel, Glass, Aluminum, Soft plastic 표면 부 사용 시에도 Scratch를 유발하지 않음
Polyurethane polymer의 Plastic 입자들이 Sponge 표면에 부착된 제품
연마제를 포함하지 않은 제품으로 CMP Polishers, Shower Heads, Heater Surfaces, Metal/Polyester mesh masks, Plastic, Glass 표면 부 세정을 위해 특별하게 설계된 Scrub Sponge
Cleaning Swab & Diamond Tip
Cleaning Swab & Diamond Tip
Specialty Cleaning Products
Cleaning Swab & Diamond Tip
Swab
국소부위, O-ring Groove, 설비 Edge, Hole 등 Cleaning 용도
세정 요구 부위에 적용 가능한 다양한 사이즈로 구성
Diamond Scrub TIP ®
날카로운 Tip 형태로 국소부위 경화 오염물을 주변부 손상 없이 제거하는 용도의 특별한 연마 도구
Inspection Set
Inspection Set
Specialty Cleaning Products
inspection set
PolyCHECK® Wiper & Swab
장비 청결도를 손쉽게 검증할 수 있도록 설계된 Inspection Products로 육안으로 확인이 어려운 Particles, 실오라기 등을 빠르게 확인하여 Defect Risk를 사전 조치할 수 있음
Inspection Wiper : 흰색 또는 불투명한 Particle의 신속한 식별 용도
Inspection & Cleaning Swab : 한쪽 면은 검은색, 다른 한쪽 면은 흰색 Wiper로 설계되어 세정과 검사 동시에 수행
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